3D线激光相机
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3D共聚焦显微镜
3D面共焦显微镜
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AI-SOP行为分析系统
运动控制卡
电动滑台
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实现了对硅片搭边载具、碎片异物以及载具变形的全面且一次性检测,显著提升了检测效率,还确保了各项检测需求的高精度满足。
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